Model: CX-300
Thông Số Kỹ Thuật:
- Súng điện tử: Sợi đốt Tungsten (W)
- Độ phân giải không gian: < 3nm
- Độ phóng đại: Từ 9x đến 500.000x
- Điện áp gia tốc: 1 – 30 kV
- Bàn đặt mẫu: X: 100mm, Y: 100mm, Z: 80mm, R: 360°, T: 20 – 90°
- Bộ dò: SE, BSE
- Chế độ chân không: HV, LV (20 Pa), VP (10, 20, 30 Pa)
- Hệ thống chân không: Bơm turbo (300L) + Bơm quay (100L)
- Kích thước (Rộng x Dài x Cao): 840(W) × 890(L) × 1.480(H) mm, 210kg
Tính Năng:
- Panorama v2
- Lấy nét tự động
- Tự động điều chỉnh độ sáng & tương phản trong 1 giây
- Khởi động tự động
- Trộn tín hiệu
- Hiển thị và lưu ba màn hình
- Hồ sơ đường (Line profile)
- Lọc ảnh, Công cụ chú thích
- Camera buồng (ChamberCam)
- Định dạng đầu ra dữ liệu: JPG, TIFF, BMP
Tùy chọn:
- EBSD, STEM, NaviCAM,
- CoolstageLV (20 Pa), VP (10 / 20 / 30 Pa)
- NanoFiberScanner, Cuộn mẫu (Scroll pump)
- Mô-đun chống ô nhiễm không khí
- EDS (Oxford, Bruker)