Thông Số Kỹ Thuật:
- Súng điện tử: Dây tóc Tungsten (W)
- Độ phân giải không gian: <3nm
- Độ phóng đại: Từ 9x đến 500.000x
- Điện áp gia tốc: 1 – 30kV
- Bàn mẫu: X: 80mm, Y: 80mm, Z: 80mm,
- R: 360°, T: 20 ~ 90°
- Bộ dò (Detector): SE, BSE
- Chế độ chân không: HV, LV (20Pa), VP (10, 20, 30Pa)
- Hệ thống chân không: Bơm turbo (300L) + Bơm quay (100L)
- Kích thước (Rộng × Dài × Cao): 640 (R) × 882 (D) × 1.432 (C) mm, 200kg
Tính Năng:
- Panorama v2
- Tự động lấy nét
- Tự động điều chỉnh độ sáng & tương phản
- Tự động khởi động
- Trộn tín hiệu
- Hiển thị & lưu ba màn hình
- Đo hồ sơ đường (Line profile)
- Lọc ảnh
- Công cụ chú thích
- Camera buồng (ChamberCam)
- Định dạng xuất dữ liệu
- JPG, TIFF, BMP
Tùy Chọn:
- EBSD, STEM
- Bàn làm lạnh (Coolstage)
- LV (20Pa), VP (10 / 20 / 30Pa)
- Máy quét sợi nano (NanofiberScanner)
- Bơm cuộn (Scroll pump)
- Mô-đun bảo vệ không khí
- Hệ EDS (Oxford, Bruker)