Các mức độ phóng đại:
- 50.000x
- 150.000x
- 250.000x
TÍNH NĂNG NỔI BẬT:
- Giao diện người dùng mới – NanoStation5
- Tốc độ quét nhanh – Lên đến 13 khung hình/giây (fps)
- Bàn di chuyển động cơ trục X, Y, Z
- Chế độ áp suất thay đổi (10, 20, 30Pa)
- Tương thích với hệ thống phân tích EBSD
- Phân tích hạt nhanh với EDS
- Panorama v1
- Lấy nét tự động (Auto focus)
- Điều chỉnh độ sáng & tương phản tự động
- Khởi động tự động
- Trộn tín hiệu
- Hiển thị & lưu trữ hai màn hình
- Hồ sơ đường nét (Line profile)
- Bộ lọc hình ảnh
- Công cụ chú thích
- ChamberCam
- Định dạng đầu ra dữ liệu: JPEG, TIFF, BMP
- Tùy chọn bổ sung: BSE, EDS, EBSD, STEM
- NaviCAM, Coolstage
- LV (20Pa)
- Panorama v2, NanofiberScanner
- Diaphragm pump
Thông số kỹ thuật:
- Súng điện tử: Sợi tungsten (W)
- Độ phân giải không gian: < 5nm
- Độ phóng đại ảnh: 8x đến 150.000x
- Độ phóng đại hiển thị: 13x đến 250.000x
- Điện áp gia tốc: 1 – 30kV
- Bàn dịch chuyển mẫu: X: 40mm, Y: 40mm, Z: 40mm, 3 trục điều khiển tự động
- Bộ dò tín hiệu: SE, BSE*
- Chế độ chân không: HV, LV*, VP*
- Hệ thống bơm chân không: Turbo pump (80L) + Rotary pump (100L)
- Kích thước (mm, kg): 315(W) × 560(L) × 580(H), 81.5kg
