TÍNH NĂNG:
- Panorama v1
- Tự động lấy nét (Auto focus)
- Tự động điều chỉnh độ sáng & tương phản
- Khởi động tự động (Auto start)
- Trộn tín hiệu (Signal mixing)
- Hiển thị kép & Lưu trữ (Dual display & Save)
- Hồ sơ đường nét (Line profile)
- Lọc ảnh (Image filtering)
- Công cụ chú thích (Annotation tool)
- ChamberCam: Có
- Giao diện người dùng hoàn toàn mới, NanoStation5
- Tốc độ khung hình nhanh lên tới 13fps (khung hình mỗi giây)
- Bàn điều khiển có động cơ theo các trục X, Y, Z
- Áp suất thay đổi (10, 20, 30Pa)
- Tương thích với hệ thống EBSD nhỏ gọn
- Phân tích hạt nhanh với EDS
THÔNG SỐ KỸ THUẬT:
- Súng điện tử: Sợi tungsten (W)
- Độ phân giải không gian: < 5nm
- Độ phóng đại ảnh: 15x đến 150,000x
- Độ phóng đại hiển thị: 15x đến 150,000x
- Điện áp gia tốc: 1 ~ 30kV
- Bàn mẫu: X: 35mm, Y: 35mm, Góc nghiêng: 0 ~ 45°
- Bộ dò: SE, BSE*
- Chế độ chân không: HV, LV* (HV: Chân không cao, LV: Chân không thấp)
- Hệ thống chân không: Bơm turbo (80L) + Bơm quay (100L)
- Kích thước: 400 (Rộng) × 630 (Dài) × 600 (Cao) mm, 85kg