A Series Micro XRF được thiết kế để đo chính xác các đặc điểm X-ray nhỏ nhất trong chất bán dẫn và vi điện tử. Hệ thống hỗ trợ PCB lớn và wafer mọi kích thước, với chùm tia X 7.5 μm FWHM – nhỏ nhất thế giới trong XRF. Camera kép 140X cung cấp hình ảnh chi tiết, bàn X-Y lập trình di chuyển 600 mm với độ chính xác ±1 μm. Nhận diện mẫu, tự động lấy nét, và bản đồ 3D giúp tối ưu hóa đo lường.
W Series Micro XRF của Bowman có chùm tia X 7,5 µm FWHM, nhỏ nhất thế giới cho phân tích độ dày lớp phủ bằng công nghệ XRF, lý tưởng để đo các linh kiện nhỏ như BGA và mối hàn. Thiết bị sử dụng hệ thống camera kép với độ phóng đại 140X để hình ảnh chính xác và một camera phụ để xem trực tiếp. Bàn X-Y lập trình có độ chính xác ±1 µm cùng với nhận dạng mẫu và tự động lấy nét giúp đo lường chính xác và phân tích đa điểm tự động. Hệ thống cũng hỗ trợ lập bản đồ 3D để trực quan hóa địa hình lớp phủ. Cấu hình tiêu chuẩn bao gồm ống anot molybden (tùy chọn crom hoặc tungsten) và đầu dò Silicon Drift độ phân giải cao. Thiết bị có thể đo đồng thời tối đa năm lớp phủ và vận hành với phần mềm Archer, giúp tối ưu hóa quy trình đo, báo cáo và thiết lập ứng dụng.
B Series là dòng máy đo XRF cơ bản với thiết kế đo từ trên xuống, giúp thao tác dễ dàng. Bệ mẫu cố định, người dùng tự căn chỉnh vị trí thử nghiệm bằng hình ảnh video. Buồng mẫu tương tự dòng P Series nhưng không có bàn X-Y lập trình. Máy được trang bị bộ chuẩn trực cố định, camera tiêu cự cố định, đầu dò SDD và ống tia X micro-focus bền bỉ. Đặc biệt, B Series có thể nâng cấp với nhiều bộ chuẩn trực hoặc camera tiêu cự thay đổi, đáp ứng nhu cầu phân tích linh hoạt hơn.
Dòng máy XRF G Series là lựa chọn lý tưởng cho các phòng thí nghiệm và dây chuyền sản xuất, đặc biệt phù hợp với người dùng có không gian bàn làm việc hạn chế, ngân sách giới hạn hoặc ưu tiên vận hành theo kiểu "bottom to top" với trục Z được điều khiển bằng động cơ. Máy được thiết kế để đáp ứng nhu cầu phân tích các mẫu nhỏ một cách nhanh chóng và dễ dàng, mang lại sự linh hoạt và hiệu quả cao trong quá trình kiểm tra và đánh giá vật liệu.
Dòng K là hệ thống XRF độ chính xác cao, tối ưu cho phân tích đa dạng mẫu, với vùng đo lớn 12″ x 12″, bàn X-Y lập trình và bộ chuẩn trực tự động cho nhiều kích thước điểm đo. Camera lấy nét linh hoạt (0.25″ đến 3.5″) cùng tính năng dẫn hướng Table View giúp đo lường dễ dàng. Phiên bản quang học poly-capillary hỗ trợ đo tính năng siêu nhỏ, với độ phân giải 15μm, bàn X-Y siêu chính xác (2µm) và camera phóng đại 140x với zoom kỹ thuật số. Trang bị đầu dò SDD và ống X-ray bền bỉ, đảm bảo độ chính xác cao và tuân thủ ASTM B568, ISO 3497, IPC-4552.
Dòng L của Bowman là một thiết bị XRF đa năng với buồng mẫu lớn (22″ x 24″ x 13″) và bàn X-Y 10″ x 10″. Nó có thể chứa các bộ phận lớn hoặc nhiều mẫu cùng lúc, đi kèm với bộ chuẩn trực 4 vị trí, camera lấy nét biến đổi và bàn X-Y lập trình được. Chiều cao buồng Z là 10″ (hoặc 13″ nếu tháo bàn). Thiết bị có đầu dò SDD và ống tia X tiêu cự nhỏ có tuổi thọ cao.
Dòng M Series cung cấp đo độ dày mạ hiệu suất cao cho các chi tiết siêu nhỏ, sử dụng quang học poly-capillary tiên tiến, thu hẹp tia X xuống 7.5μm FWHM. Máy được trang bị camera phóng đại 140x với zoom kỹ thuật số cao cấp, cùng camera macro thứ hai giúp dễ dàng định vị điểm đo. Bàn X-Y lập trình độ chính xác cao hỗ trợ đo nhiều điểm, với nhận diện mẫu tự động và hệ thống lập bản đồ 2D để phân tích bề mặt lớp phủ. Cấu hình tiêu chuẩn bao gồm quang học 15μm, đầu dò LSDD độ phân giải cao, và bàn X-Y lập trình. Do tiêu cự gần, mẫu đo phải phẳng.
Dòng O Series kết hợp hiệu suất cao và kích thước điểm tia X siêu nhỏ (80μm FWHM) nhờ hệ thống quang học poly-capillary, giúp tối đa hóa thông lượng tia X để cải thiện độ nhạy và rút ngắn thời gian thử nghiệm trên các linh kiện nhỏ hoặc lớp phủ mỏng. Không giống như bộ chuẩn trực truyền thống, hệ thống này giữ lại gần 100% thông lượng ống, đảm bảo độ lặp lại vượt trội trong thời gian kiểm tra ngắn hơn. Máy được trang bị đầu dò SDD độ phân giải cao, độ phóng đại video 55x, zoom kỹ thuật số 7x và bàn X-Y lập trình. Do khoảng tiêu cự gần, mẫu thử phải phẳng. Hiện có tùy chọn mở rộng bàn đo để tăng tính linh hoạt.