MODEL: FX40
Dòng AFM FX được thiết kế nhằm giảm thiểu nhiễu cơ học tối đa. Hệ thống kính hiển vi quang học (optical microscope) được tách rời khỏi trục Z, giúp giảm tải trọng trên Z-stage và từ đó giảm khả năng bị nhiễu loạn cơ học. Z-stage được cấu tạo chắc chắn hơn với bộ dẫn hướng con lăn chữ thập độ cứng cao (high-stiffness cross-roller guide) và hai khối ổ đỡ (bearing blocks).
Việc sử dụng vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt thấp giúp giảm trôi nhiệt (thermal drift), đảm bảo độ ổn định và độ tin cậy lâu dài của FX40 trong quá trình vận hành.
Hướng đi tia laser của dòng FX
Cấu trúc quang học của dòng FX tích hợp laser ghép sợi (superluminescent diode – SLD) vào cụm kính hiển vi quang học. Chùm tia laser được hội tụ thông qua thấu kính vật kính và được duy trì cố định tại tâm của trường nhìn quang học.
Căn chỉnh chùm tia laser tự động
Thay đầu dò tự động
Mỗi chip carrier được đánh dấu mã QR chứa thông tin chi tiết như loại đầu dò, số seri, ngày sản xuất và các thông số kỹ thuật.
Z scanner của đầu FX được thiết kế với ba điểm tựa bi chính xác (precision ball seats) theo chuẩn động học, kết hợp với nam châm ở đế để bảo đảm vị trí gắn chắc chắn, lặp lại và ổn định.
Module thay đầu tip tự động (Automatic Tip Exchanger – ATX) lưu trữ tối đa 8 đầu dò đã được gắn sẵn. Sau khi camera ATX quét mã QR của từng đầu dò, phần mềm điều khiển SmartScan™ AFM hiển thị đầy đủ thông tin của từng vị trí lưu trữ, cho phép người dùng chọn slot có đầu dò hoặc slot trống chỉ bằng một cú click.
Khi slot được chọn, đầu AFM sẽ hạ xuống để lấy đầu dò mới hoặc trả đầu dò hiện tại về slot, tùy thuộc vào vị trí của nam châm bên dưới.
Camera quan sát mẫu
Nâng cấp hệ quang học đồng trục
Hệ thống quét trực giao
Các hệ AFM truyền thống sử dụng bộ quét dạng ống (tube scanner) thường gặp hiện tượng chuyển động ngoài mặt phẳng và nhiễu chéo trục (axis crosstalk), gây biến dạng hình ảnh, đặc biệt khi quét diện tích lớn. Model FX40, giống như toàn bộ dòng AFM của Park, sử dụng hệ thống quét trực giao tiên tiến, dựa trên kiến trúc dẫn hướng uốn (flexure-guided architecture):
-
Bộ quét uốn 2D di chuyển mẫu trong mặt phẳng XY.
-
Bộ quét uốn 1D độc lập điều khiển độc lập chuyển động trục Z của đầu dò.
Hệ thống tách biệt này đảm bảo quét trực giao, tuyến tính, gần như không có chuyển động ngoài mặt phẳng, đồng thời duy trì hiệu năng động học nhanh.
FX40 được trang bị: Cảm biến quang học nhiễu thấp (low-noise optical sensors) cho phản hồi XY, cảm biến strain gauge siêu nhiễu thấp cho điều khiển Z, hệ servo vòng kín (closed-loop servo control) đảm bảo quét chính xác và có khả năng lặp lại trên tất cả các trục.
XY scanner được thiết kế để đạt chuyển động phẳng tuyệt đối, không gây dao động theo phương Z, bằng cách sử dụng các cơ cấu piezo xếp tầng (stacked piezo actuators) và bản lề uốn (flexure hinge structures). Một cảm biến vị trí đặt tại tâm bộ quét cung cấp phản hồi trực tiếp cho hệ servo, giúp giảm thiểu sai lệch định vị trên toàn vùng quét. Thiết kế này duy trì độ chính xác và độ ổn định nhất quán, kể cả khi quét các mẫu kích thước lớn.
Chế độ True Non-Contact™
FX40 tích hợp True Non-contact™, công nghệ độc quyền của Park Systems. Trong chế độ này, AFM thu nhận cấu trúc bề mặt bằng cách ghi nhận lực hút van der Waals giữa đầu dò AFM và bề mặt mẫu, hoàn toàn không chạm.
